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膜厚測定に必要な機(jī)能をヘッド部に集約! 顕微分光で高精度な絶対反射率測定(多層膜厚、光學(xué)定數(shù)) 1ポイント1秒以內(nèi)の高速測定 顕微下で広い測定波長範(fàn)囲を?qū)g現(xiàn)する光學(xué)系(紫外~近赤外) エリアセンサーによる安全機(jī)構(gòu) 初めての方でも光學(xué)定數(shù)解析が可能な楽々解析ウイザード 測定シーケンスをカスタマイズ可能なマクロ機(jī)能搭載 各種カスタマイズに対応 測定項(xiàng)目
絶対反射率測定 膜厚解析 光學(xué)定數(shù)解析(n:屈折率、k:消衰係數(shù))


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